Các hệ thống đo lường và kiểm soát quy trình chế tạo bán dẫn

Hệ thống công nghệ chuyên sâu toàn diện của Bruker đáp ứng các yêu cầu đa dạng trong công tác đo lường và giám sát quy trình chế tạo bán dẫn, từ khâu nghiên cứu và phát triển (R&D) đến giai đoạn sản xuất quy mô lớn.   75% trong số 25% công ty sản xuất chất bán dẫn hàng đầu thế giới đều đang sử dụng thiết bị Bruker, từ công đoạn chế tạo (front-end) đến đóng gói (back-end) bán dẫn.   Cam kết đổi mới của chúng tôi luôn thúc đẩy những tiến bộ trong việc phát triển các thế hệ thiết bị đo lường bán dẫn mới.

Các giải pháp đo lường và kiểm soát quy trình chế tạo bán dẫn chuyên dụng của chúng tôi bao gồm:

• Đo phổ elip và phản xạ (Ellipsometry and Reflectometry) - Đo lường các lớp màng mỏng và các kích thước chi tiết (CD: critical dimension) in trên bề mặt phiến bán dẫn mà thường không đo được bằng thiết bị thông thường.
• Đo lường bằng tia X tự động (X-ray) – Kiểm soát quy trình chế tạo bán dẫn chất lượng cao, hỗ trợ công tác nghiên cứu và phát triển các lớp màng epi, phát hiện khuyết tật trên bề mặt phiến, kiểm soát bước đầu (FEOL: front-end-of-line) các lớp màng epi và điện môi hằng số cao, phân tích các lớp màng kim loại và các chi tiết đóng gói.
• Chụp ảnh hiển vi lực nguyên tử tự động (AFM) – Chụp ảnh và phân tích độ nhám bề mặt, độ phẳng cơ hóa bề mặt (CMP) và chi tiết ăn mòn bề mặt (etch-depth).
• Sửa lỗi trên mặt nạ quang học (Photomask) – Kiểm soát và khắc phục các khuyết tật khuôn mẫu phát sinh trên mặt nạ quang học.
• Làm sạch đông khô – Sử dụng quy trình làm sạch đông khô bằng khí CO2 để loại bỏ tạp chất trên phiến bán dẫn và các linh kiện điện tử.
• Đo lường bề mặt – Thử nghiệm các đặc tính cơ học và đo lường hình thái bề mặt giúp tối ưu hóa khả năng điều khiển và kiểm soát quá trình chế tạo bán dẫn.

Dịch vụ hỗ trợ kỹ thuật và ứng dụng giúp tối ưu hóa hiệu năng sử dụng thiết bị

Quyết định đầu tư vào thiết bị đo lường cao cấp thường dựa trên hiệu suất hơn là giá thành. Bruker đảm bảo các thiết bị luôn hoạt động hiệu quả tối đa.   Đội ngũ dịch vụ và hỗ trợ kỹ thuật có chuyên môn cao, luôn tự hào về khả năng xử lý các vấn đề kỹ thuật ngay lập tức.   Nhiều chương trình dịch vụ kỹ thuật được xây dựng theo yêu cầu cụ thể của từng khách hàng như tối ưu hóa khả năng vận hành, xây dựng quy trình phân tích hay hỗ trợ kỹ thuật tại hiện trường.

Bruker tùy chỉnh dịch vụ hỗ trợ kỹ thuật theo yêu cầu của từng khách hàng:

• Dịch vụ hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu.
• Dịch vụ thay thế phụ tùng cấp tốc.
• Dịch vụ hướng dẫn vận hành và hỗ trợ ứng dụng.

Để biết thêm thông tin chi tiết, vui lòng xem tại đây.

*******************************************

Để được tư vấn và biết thêm thông tin chi tiết, xin vui lòng liên hệ:

Công ty TNHH Sao Đỏ Việt Nam

Email:  info@redstarvietnam.com / thuy.le@redstarvietnam.com

URL:   www.redstarvietnam.com