Tokyo Japan, ngày 1 tháng 8 năm 2014, Công ty Công nghệ cao Hitachi (TOKYO: 8036; Hitachi High-Tech) hôm nay, công bố Kính hiển vi điện tử phát xạ trường của hãng được lựa chọn là một trong 100 phát minh nổi bật thời kỳ sau chiến tranh Nhật Bản” bởi Viện Phát minh và Sáng chế Nhật Bản (JIII), góp phần vào danh sách các hạng mục đánh dấu 110 năm thành lập như là một Công ty độc lập.
“100 phát minh nổi bật hàng đầu thời kỳ sau chiến tranh Nhật Bản” là những phát minh có đóng góp to lớn vào công cuộc phát triển kinh tế và công nghiệp của Nhật Bản thời kỳ sau chiến tranh. Với thông báo đầu tiên về danh sách 100 phát minh nổi bật trong thời kỳ này vào ngày 8 tháng 7 năm 2014, JIII đã chọn phát minh về kính hiển vi điện tử phát xạ trường của hãng Hitachi High-Tech là một trong 38 phát minh quan trọng nhất của Nhật Bản từ quá trình hồi phục sau chiến tranh đến giai đoạn phát triển kinh tế có nhịp độ cao.
Vào năm 1968, Tập đoàn Hitachi Ltd. (Hitachi) đã phát minh ra nguồn chùm tia điện tử phát xạ trường (FE) cùng với Tiến sĩ Albert V. Crewe (Trường Đại học Chicago trước đây). Sau đó vào năm 1972, Hitachi tiến hành lắp đặt thành công nguồn chùm tia điện tử FE lên kính hiển vi điện tử (SEM), đánh dấu sự phát triển thành công của thiết bị mang tên HFS-2, kính hiển vi điện tử quyét phát xạ trường (FE-SEM) thương mại đầu tiên trên thế giới*. HFS-2 có khả năng vận hành đơn giản để quan sát được những hình anh phân giải siêu cao một cách ổn định và đáng tin cậy. Những nỗ lực không ngừng giúp hãng cho ra đời S-800 trong năm 1982, có cải thiện lớn về khả năng vận hành của FE-SEM, góp phần đưa thiết bị này trở nên thông dụng. Công nghệ cũng được áp dụng để giúp thúc đầy quả trình giảm thiểu kích thước linh kiện bán dẫn khi hãng Hitachi cho ra đời S-6000, loại kính hiển vi điện tử kích thước tới hạn (CD-SEM) vào năm 1984 để có thể khống chế được chiều rộng chi tiết linh kiện trong quá trình xử lý ăn mòn và quang khắc trong các dây chuyền sản xuất linh kiện bán dẫn. Không lâu sau đó, vào năm 1985, kính hiển vi điện tử quyét phát xạ trường (FE-SEM) của Hitachi được sử dụng để quan sát hình ảnh vi rút AID. Bằng nhiều hình thái, kính hiến vi điện tử quét phát xạ trường (FE-SEM) đã đóng góp không chỉ vào quá trình phát triển công nghệ nanô như nghiên cứu chất xúc tác, vật liệu điện cực sản xuất pin và tuýp nano, mà còn đóng góp to lớn trong các lĩnh vực nghiên cứu về công nghệ sinh học và chăm sóc sức khỏe.
Kính hiển vi để bàn TM3030Plus là một trong các thiết bị hiện đại và mới nhất của Hitachi
Hitachi High-Tech được hình thành thông qua sát nhập vào năm 2001 giữa Công ty Nisse Sangyo, một công ty thương mại của Tập đoàn Hitachi chuyên về công nghệ, với nhóm sản xuất thiết bị phân tích và nhóm sản xuất thiết bị bán dẫn của Tập đoàn. Ngày nay, Công ty Hitachi High-Tech chịu trách nhiệm chuyên sản xuất, phân phối và hỗ trợ sau bán hàng cho dòng sản phẩm hiển vi điện tử.
Hướng tới tương lai, Hitachi High-Tech sẽ tiếp tục phát triển những công nghệ và sản phẩm có bằng sáng chế nổi bật trong lĩnh vực thiết bị, bao gồm cả dòng thiết bị hiển vi điện tử quyét phát xạ trường, sản phẩm đã được lựa chọn là 1 trong 100 phát minh nổi bật thời kỳ sau chiến tranh Nhật Bản, bằng tầm nhìn hiện thực hóa một xã hội bình đẳng và an toàn với sự thúc đẩy phát triển công nghiệp toàn cầu.
Cột mốc các giải thưởng cho thiết bị FE-SEM
1976: Giải thưởng Công nghệ của Quỹ tưởng nhớ Okochi về phát triển kính hiển vi điện tử phát xạ trường phân giải cao (FE-SEM)
1995: Giải thưởng R&D 100 cho thiết bị kính hiển vi điện tử quyét phát xạ trường (FE-SEM) “Miracle Eye” HM-2000 200kV
2008: Giải thưởng về sản xuất của Quỹ tưởng nhớ Okichi lần thứ 54 về phát triển và thương mại hóa kính hiển vi điện quét kích thước tới hạn để đo lường các chi tiết siêu nhỏ trên linh kiện bán dẫn
2012: Giải thưởng Cột mốc IEEE về phát triển kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FE-SEM đầu tiên trên thế giới
*FE-SEM (Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường): Là loại kính hiển vi điện tử quét (SEM) có khả năng quan sát mẫu vật ở độ phân giải siêu cao bằng nguồn chùm tia điện tử FE lắp trong, kiểu chùm tia có cường độ sáng lớn hơn và độ phân bố sóng nhỏ hơn so với các loại chùm tia điện tử khác (nguồn chùm tia điện tử nhiệt) được sử dụng trong các loại kính hiển vi điện tử thông thường.
Liên hệ báo chí
CSR & Corporate Communications Dept., CSR Div. Reiko Takeuchi, Aiko Matsumoto
Tel: +81-3-3504-7760
